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低温等离子体中的高能电子可使电负性高的气体分子（如氧分子、氮分子）带上电子而成为负离子，它具有许多良好的健康效应，对人体及其他生物的生命活动有着十分重要的影响，被人们誉为“空气维生素”、“长寿素”。 低温等离子体的净化作用还具备显著的生物效应。发生的静电作用在各种细菌、病毒等生物表面产生的电能剪切力大于细胞膜表面张力，使细胞膜遭到破坏，导致生物死亡。因此低温等离子体除臭技术具有优秀的消毒杀菌之功效。 以上所述...”
等离子体反应区富含极高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形势产生的低温等离子技术相比较，等离子体技术放电密度是电晕放电的1500倍，这就是传统低温等离子体技术治理工业废气以失败而告终的原因。
温等离子体技术在气态污染物治理方面优势显著。其基本原理是在电场的加速作用下，产生高能电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到消除气态污染物的目的。
喷漆废气中的三苯浓度一般低于300mg/m3低浓度、大风量的有机废气治理，采用催化燃烧法(适用于浓度大于500mg/m3)处理不合适,所以只能用低温等离子废气处理设备来处理这种类型的工业废气。(适应于家具厂、鞋厂、五金厂、电子厂、工艺品厂、印染厂、塑料制品厂等等)同样，等离子技术处理涂装系统废气，油墨废气，高压静电式的印刷印染废气都有
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